湖北晟皓:年產1.5萬噸電子級硅烷氣項目奠基開工
近日,由中國化學十六化建承建的湖北晟皓年產1.5萬噸電子級硅烷氣項目在湖北省宜昌市奠基開工。項目建設將推動我國半導體材料產業(yè)的自主創(chuàng)新與發(fā)展,加速實現(xiàn)國家半導體產業(yè)邁向國產替代、高端化、自主化。
該項目采用歧化法生產工藝,建設包括冷氫化裝置、精餾歧化裝置、廢氣廢水處理系統(tǒng)等核心設施,打造年產1.5萬噸高純度硅烷氣生產線,同步生產電子級多晶硅、四氯化硅、二氯二氫硅等關鍵材料。項目生產的高純度硅烷氣是半導體芯片制造的核心基礎材料。項目全面投產后將有效緩解我國電子級硅烷氣長期依賴進口的被動局面,滿足國內半導體產業(yè)的需求,為“中國芯”戰(zhàn)略注入強勁動力。
資訊來源:中國化學
