近日，晶盛機電技術(shù)研發(fā)再次突破，成功研發(fā)出全自動金剛石生長爐。

01 金剛石晶體生長爐成功研制

晶體生長設備家族再添新成員

官方消息稱，晶盛機電晶體實驗室經(jīng)過半年多的工藝測試，全自動MPCVD法生長金剛石設備（型號XJL200A）成功生長出高品質(zhì)寶石級的金剛石晶體。

據(jù)介紹，此次XJL200A金剛石生長爐成功解決了傳統(tǒng)的MPCVD培育鉆石生長技術(shù)的行業(yè)痛點：對多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對晶體溫度和生長厚度等關鍵生長參數(shù)的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質(zhì)量控制和規(guī)模化生產(chǎn)的瓶頸。

作為碳化硅、氮化鎵之后具有代表性的新一代半導體材料，金剛石晶體又稱鉆石，被譽為“終極半導體”材料，此次金剛石晶體生長爐成功研制，標志著晶盛機電在硅、藍寶石、碳化硅等晶體生長設備家族再添新成員。

據(jù)項目負責人表示，目前已經(jīng)完成了設備定型和批量工藝開發(fā)，設備即將投放市場，能為客戶提供一站式解決方案。

50億SiC襯底晶片項目即將開工

資料顯示，晶盛機電是國內(nèi)領先的半導體材料裝備和LED襯底材料制造的高新技術(shù)企業(yè)，主要圍繞硅、碳化硅、藍寶石三大主要半導體材料開展業(yè)務。

近年來，晶盛機電順應行業(yè)發(fā)展趨勢，提早布局碳化硅晶片市場。目前，該公司碳化硅外延設備已通過客戶驗證，同時在6英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)建立測試線，其6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗證。

晶盛機電此前在投資者關系活動記錄表中披露，截至2022年2月7日，客戶A已與公司形成采購意向，2022年-2025年公司將優(yōu)先向其提供碳化硅襯底合計不低于23萬片。

此外，為加快推進第三代半導體材料碳化硅業(yè)務，2月7日，晶盛機電發(fā)布公告稱，擬募集資金不超過57億元，其中擬投入31.34億元在寧夏銀川建設碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項目。

2月25日，晶盛機電碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項目正式落戶寧夏。據(jù)央廣網(wǎng)報道，該項目總投資50億元，一期預計3月開工建設，投資總額33.6億元，一期建成達產(chǎn)后預計年產(chǎn)6英寸碳化硅晶片40萬片。